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你对扩散硅压力变送器的常识了解了多少?

发布时间:2020-01-03   点击次数:235次
  压力变送器按芯体可分为扩散硅压力变送器、陶瓷压力变送器、电容式压力变送器和单晶硅压力变送器。那大家知道平时测压力用到最多的压力变送器是什么类型的吗?
  那就是扩散硅压力变送器。扩散硅压力变送器广泛应用于石油、化工、钢铁、电力、轻工、环保等工业领域,实现对各种流体压力的表压、负压或绝压测量和控制,并且能够适用于各种恶劣危险环境及有腐蚀性介质。那么扩散硅压力变送器是怎样诞生的呢?
  20世纪90年代中期,美国Nova公司应用硅品石和硅品片益合两项尖端科技生产了新型扩散硅压力传感器并开发出具有精度高、重复性小、抗腐蚀的扩散硅压力变送器过程压力通过隔离膜片、密封硅油传输到扩散硅膜片上,同时参考端的压力(大气压)作用于膜片的另一端。这样膜片两边的压差产生一个压力场,使膜片的一部分压缩。另一部分拉伸,在压缩区和拉伸区分别有两个应变电阻片,以感受压力引起的阻值的变化,从而将压力信号转换为电信号。
  扩散硅压力变送器是利用压阻效应原理,采用集成工艺技术经过掺杂、扩散,沿单晶硅片上的特点晶向,制成应变电阻,组成惠斯凳电桥,利用硅材料的弹性力学特性,在同一切硅材料上进行各向异性微加工,就制成了一个集力敏与力电转换检验于一体的扩散硅传感器。
  应用扩散硅压力变送器时的注意事项
  1.温度补偿,扩散硅式压力传感器是半导体,半导体具有很强的温度特性,没有温度补偿,测量误差可能会比较大。
  2.扩散硅式压力传感器传感膜片只有几十丝米厚,千万不能触碰。
  3.供电电压要稳定,传感器里面实际就是一个电桥,供电电压波动会引起桥路输出变化,影响测量精度。
  4.要在额定电压内应用,过压会导致传感器损坏。
  5.输出端不要短路。

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